【SIMCO思美高】適用于半導體前后端處理的ESD靜電控制解決方案
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電動螺絲刀,別名電批、電動起子,是用于擰緊和旋松螺釘用的電動工具。該電動工具裝有調節和限制扭矩的機構,主要用于裝配線,是大部分生產企業的工具之一。
在半導體制造過程中,靜電是一個需要嚴格控制的因素,因為即使是微小的靜電放電也可能損壞敏感的電子元件或導致塵埃粒子吸附在晶圓表面,從而影響產品的成品率和可靠性。
在整個半導體制造過程中都會產生靜電荷,主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過三種方式影響生產率和良率,靜電荷會靜電吸引(ESA)空氣中的顆粒,從而導致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產品在半導體領域的應用主要集中在靜電控制和除靜電設備方面,以減少生產中的靜電和微粒對半導體制造過程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設備、離子棒和離子風機等設備通過電暈放電產生正負離子,中和空氣和工作表面的靜電荷,從而減少靜電吸附和放電對半導體制造過程的影響。
產品介紹
離子風機
Aerostat XC2靜電除塵風機
提供全面的大面積電離保護,其設計和制造旨在實現可靠、長期的靜電控制。其輕量化設計使 Aerostat XC2可以安裝在工作臺面上方,這對于平板顯示器模塊組裝尤為有效。
特點:
輕量化設計
大面積、近乎對稱的電離區域覆蓋
±10V自平衡(“微脈沖")技術
易于使用的內置發射器清潔器
集成加熱器,用于暖空氣流動
Aerostat PC2臺式離子風機
Aerostat PC2臺式離子風機內置發射點清潔器,結構緊湊輕巧,可為目標微環境提供的電荷中和效果,并可輕松安裝在工藝工具內部。其風速足夠,可在臺式工作臺面上控制高達4 英尺(約 1.2 米)范圍內的靜電。
特點:
1英尺放電時間小于2.0 秒
輕巧、緊湊、安靜,使用時不會引人注目
本地警報 LED、設施監控系統(FMS)連接和可選聲音警報